11月6日晚间，苏大维格披露公告称，公司拟以自有或自筹资金5.1亿元收购常州维普半导体设备有限公司（以下简称“常州维普”）51%股权。本次交易完成后，常州维普成为公司控股子公司，纳入公司合并报表范围。

公告显示，本次交易构成关联交易，不构成重大资产重组。常州维普是一家在半导体光掩模缺陷检测设备领域已实现规模化量产的企业，设备产品已实现了对下游主要半导体掩膜版生产厂商（包括晶圆厂自建配套工厂和独立第三方掩模厂商）的覆盖。

苏大维格表示，本次收购完成后，有利于双方发挥各自在激光直写光刻和掩模缺陷检测领域的优势，一方面，公司可借助常州维普客户资源及量产经验，加快推进激光直写光刻机在半导体光掩模制造和先进封装领域的量产应用；另一方面，公司可助力常州维普在先进制程光学系统方面实现突破。