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拓荆科技:坚持自主创新 不断优化设备产品性能

2023年09月25日 来源:证券日报

9月25日,拓荆科技董事长吕光泉在公司2023年半年度业绩说明会上回复投资者提问时表示,公司一直在半导体高端薄膜沉积设备领域深耕,坚持自主创新,持续保持高强度的研发投入,不断优化设备产品的性能。

吕光泉称,公司持续提升现有量产产品的核心竞争力,同时,结合半导体行业的技术发展趋势及客户需求,提前布局开发新产品或新工艺,加速推进验证进度。目前PECVD(等离子体增强化学气相沉积)设备已实现规模量产,ALD(原子层沉积)、SACVD(次常压化学气相沉积)、HDPCVD(高密度等离子体化学气相沉积)系列产品已实现产业化,未来将持续提升产品性能,扩大量产规模,为客户提供高质量的产品,获得客户的认可。

拓荆科技主要从事高端半导体专用设备的研发、生产、销售与技术服务。自成立以来,公司始终坚持自主研发,目前已形成PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD等薄膜设备产品系列,广泛应用于国内集成电路逻辑芯片、存储芯片等制造产线。此外,公司还推出了应用于晶圆级三维集成领域的混合键合设备产品系列。

通过较高强度的持续研发投入,拓荆科技也一直保持着细分领域内产品技术的领先优势。公开披露数据,今年上半年,公司研发投入2.1亿元,同比增长78.77%,在公司营业收入中的占比高达20.93%。同时,公司还不断丰富设备产品品类,拓宽薄膜工艺应用覆盖面,在现有产品产业化应用、新产品及新工艺研发验证等方面均取得了突破性进展。

高水平研发投入所带来的产品竞争力提升,叠加下游晶圆制造厂产能增长带来的旺盛需求,拓荆科技销售订单饱满,营收、利润均呈现较快增长态势。公司前期披露的半年报数据显示,今年上半年,公司实现营业收入10.04亿元,同比增长91.83%;实现归母净利润1.25亿元,同比增长15.22%;实现扣非归母净利润6518.25万元,同比增长32.65%。营业收入快速增长,盈利能力持续增强。

责任编辑:郑伊丹
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