10月29日晚，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”）正式发布2025年第三季度报告。2025年前三季度，中微公司保持强劲发展势头，实现营业收入80.63亿元，同比增长46.40%；归属于上市公司股东净利润12.11亿元，同比增长32.66%。

中微公司核心业务表现突出，其中刻蚀设备收入61.01亿元，同比增长约38.26%；LPCVD和ALD等薄膜设备收入呈现爆发式增长，达到4.03亿元，同比增长约1332.69%，成为继上半年608.19%高增长后的又一亮点。各项主营业务的有力推进，为该公司整体收入增长提供了坚实支撑。

作为以创新为核心驱动力的高端半导体设备企业，中微公司2025年前三季度研发支出25.23亿元，同比增长约63.44%，研发投入占营业收入比例约31.29%，远高于科创板上市公司平均水平，多款关键核心设备顺利推进，且研发周期大幅缩短，展现出公司对前沿技术布局与产品差异化战略的坚定执行。